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　　1、水環式真空泵/液環真空泵工作原理

　　水環式真空泵(簡稱水環泵)是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000-4000帕，串聯大氣噴射器可達270-670帕。水環泵也可用作壓縮機，稱為水環式壓縮機，是屬于低壓的壓縮機，其壓力范圍為1-2x105帕表壓力。

　　水環真空泵最初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫藥及食品等許多工業部門。在工業生產的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環泵得到廣泛的應用。由于真空應用技術的飛躍發展，水環泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環泵應用日益增多。

　　泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中順時針方向旋轉時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環。水環的下部分內表面恰好與葉輪輪轂相切，水環的上部內表面剛好與葉片頂端(實際上葉片在水環內有定的插入深度)。此時葉輪輪轂與水環之間形成一個月牙空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部零為起點，那么葉輪在旋轉前180度時，小腔面積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕；當葉輪繼續旋轉時，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當小腔與排氣口相通時，氣體便被排出泵外。

　　綜上所述，水環泵是靠泵腔容積的變化來實現吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變容式真空泵。

　　2、羅茨泵的工作原理：

　　羅茨泵泵腔內，有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間，轉子與泵殼內壁之間，保持有一家的間隙，可以實現高轉速運行。由于羅茨泵串聯使用。

　　羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間內，再經排氣口排出。由于吸氣后的vo空間是全封閉狀態，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。

　　但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，vo空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間vo中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時，氣體排出泵外。

　　3、旋片式真空泵工作原理

　　旋片式真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封式機械真空泵。其工作壓強范圍為101325-1.33x10-2(帕)屬于低于真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。它已廣泛地應用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫藥等生產和科研部門。

　　旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體。

　　旋片泵是真空技術中最基本的真空獲得設備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級和雙吸兩種。所謂雙級，就是在結構上將兩個單級泵串聯起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。

　　旋片泵抽速與入口壓強的關系規定如下：在入口壓強為1333帕、1.33帕和1.33x10-1(帕)下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。