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力

重力

液體真空計

汞柱壓力計

10⁵~10²

10%

幾秒

①

基準(zhǔn)汞柱壓力計

10⁴~10(10^-1)

油柱壓力計

10³~10

1%

幾秒至幾分

基準(zhǔn)油柱壓力計

10²~10^-2(10^-3)

壓縮式真空計

10³~10^-1(10^-6)

＜3%

幾分

①④

機(jī)械力

變形計

彈簧管真空計

10⁵~10³

10%

幾秒

①

膜盒真空計

10⁵~10²

＜10%

幾秒

薄膜電容真空計

10³~10^-2

＜1%

＜1s

②

薄膜應(yīng)變真空計

10⁵~10²

①

阻尼力

黏滯計

振幅衰減真空計

1~10^-3

10%-100%

幾秒

-

磁懸轉(zhuǎn)子真空計

1~10^-4

-

-

-

振膜真空計

10⁴~10^-1

≤±2%

＜1s

-

分子力

熱輻射真空計

1~10^-5

＜10%

幾秒至幾十秒

②

氣體分子熱傳導(dǎo)（熱傳導(dǎo)真空計）

電阻真空計

10²~10^-1(10^-2)

10%~100%

定溫型約1s

③

熱偶真空計

10²~10^-1

幾秒

半導(dǎo)體真空計

10²~10^-3

幾秒

熱電堆真空計

10²~10^-1

-

氣體對流

對流真空計

10⁵~10²

-

-

氣體電離

荷能粒子

熱陰極計

電離真空計

10^-1~10^-5

10%~20%

10^-3s

③

中真空電離真空計

10²~10^-4

B-A電離真空規(guī)

10^-1~10^-8

熱陰極磁控計

10^-5~10^-11(10^-13)

放射源（α）電離真空計

10⁴(10⁵)~10^-1

10%

0.1s

自持放電

冷陰極計

潘寧計

1~10^-4

20%~50%

0.1s

反磁控真空計

10^-2~10^-9(10^-11)

10~10^-3

正磁控真空計

10^-2~10^-8

10²~10^-3

放電管真空計

10²~10^-1

-

＜1s