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一維位置傳感器：PSD位置傳感器

1.PSD傳感器介紹
psd位置傳感器是一種能測量光點在探測器表面上連續位置的光學探測器。是一種新型的光電器件，或稱為坐標光電池。它是一種非分割型器件，可將光敏面上的光點位置轉化為電信號。psd由p襯底、pin 光電二極管及表面電阻組成。具有位置分辨率高，響應速度快和處理電路簡單等優點。
2.PSD傳感器特性
位置分辨率高;
可減少來自日光和日光燈的干擾;
極間電阻高(對于S3271～S3274 系列) ;
響應速度高(對于S3271～S3274 系列) ;
可以同時測量位置和強度;
檢測數據只與光點的能量中心有關;
可靠性高。
3.PSD工作原理
PSD分兩種類型：一維PSD（稱1D-PSD）和兩維PSD（稱2D-PSD）探測器。
如圖1截面圖所示，PSD由在平面硅襯底上的三層組成：P型層在表面，N型層在另一面，I層在它們中間。落在PSD上的入射光轉換成光電子后由P型層上兩端電極探測并形成光電流。
當一束光落在PSD上，相應于光能量的電荷在入射點產生，電荷通過P型電阻層被電極收集。P型層是均勻一體的電阻層，被電極收集到的光電流與入射點和電極間距成反比。由此可得出如下公式：I1和I2是電極的光電流，L和I0分別代表電極間距和總光電流。
由公式（3），（4），（7），（8）顯示，不同的比率可得出相應的與光能量無關的入射光點的位置。
4.PSD常見型號
2D-PSD是一種改進型四側面結構，包括改進敏感面和電極。另外，器件暗電流小，響應速度高和設置偏壓容易，邊緣畸變小。
1D-PSD，2D-PSD分別是1D-PSD和2D-PSD非調制信號處理板。只要簡單地把處理板連接電源，位置信號就能精確得到。
1.一維PSD位置傳感器
PSD-0220（1D-PSD）
有效光敏面 2.0×20mm
分辨率 1μm 光譜
響應范圍 380～1100nm
響應時間 1μs
工作溫度 -10～60℃
PSD-2534（1D-PSD）
有效光敏面 2.5×34mm
分辨率 1μm
光譜響應范圍 380～1100nm
響應時間 5μs
工作溫度 -10～60℃
PSD-1315（1D-PSD）
有效光敏面 1.3×15mm
分辨率 0.1μm
光譜響應范圍 380～1100nm
響應時間 0.8μs
工作溫度 -10～60℃
2.二維PSD位置傳感器
PSD-1010（2D-PSD）
有效光敏面 10×10mm
分辨率 1μm
光譜響應范圍 380～1100nm
響應時間 0.8μs
工作溫度 -10～60℃
PSD-1515（2D-PSD）
有效光敏面 15×15mm
分辨率 1μm
光譜響應范圍 380～1100nm
響應時間 0.8μs
工作溫度 -10～60℃
PSD-2121（2D-PSD）
有效光敏面 21×21mm
分辨率 2μm
光譜響應范圍 380～1100nm
響應時間 1μs
工作溫度 -10～60℃
PSD-2727（2D-PSD）
有效光敏面 27×27mm
分辨率 2μm
光譜響應范圍 380～1100nm
響應時間 2μs
工作溫度 -10～60℃
PSD-4343（2D-PSD）
有效光敏面 43×43mm
分辨率 5μm
光譜響應范圍 380～1100nm
響應時間 5μs
工作溫度 -10～60℃

一維位置傳感器：一維PSD位置傳感器QY-PSD018(圖)

品牌:青岳 型號:QY-PSD018 種類:位置 材料物理性質:半導體 材料晶體結構:單晶 制作工藝:集成 輸出信號:模擬型 靈敏度:1um
PSD是測量光斑在探測器表面連續位置的光學探測器。PSD的位置分辨率高,可以**,外圍處理電路簡單,使用靈活等特點.我們是*的位置傳感器制造商,可以提供各種規格的PSD位置傳感器,同時,提供*的PSD位置傳感器訂做.

主要參數:

*光敏面     1×8mm

分辨率         0.1μm

光譜響應范圍   4000～1100nm

響應時間       0.5μs

一維位置傳感器：基于一維PSD位置傳感器激光三角法測量振動

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一維位置傳感器：基于一維運動機構和二維位置傳感器的六自由度定位系統

G01C21/00;

權利要求說明書
說明書
幅圖

（
54
）發明名稱

基于一維運動機構和二維位置傳感器的六自由度定位系統

（
57
）摘要

?
基于一維運動機構和二維位置傳感器的六
自由度定位系統，該系統包括半導體激光器、光
纖準直器、光纖分路器、濾光片、兩個一維運動
機構、三個
PSD
傳感器及信號處理系統。半導體
激光器發射的激光照射到光纖準直器，后經光纖
分路器分成三路，三路光經輸出光纖和濾光片
后，分別由三個
PSD
傳感器接收；激光光斑在三
個
PSD
傳感器的位置和兩個一維運動機構的位移