發布日期：2022-10-09 點擊率：104
原標題：氣體傳感器分類
一、半導氣體傳感器
這種類型的傳感器在氣體傳感器中約占60%，根據其機理分為電導型和非電導型，電導型中又分為表面型和容積控制型。
（1 ）SnO2半導體是典型的表面型氣敏元件，其傳感原理是SnO2為n型半導體材料。當施加電壓時，半導體材料溫度升高，被吸附的氧接受了半導體中的電子形成了O2或O2原性氣體H2、CO、CH4存在時，使半導體表面電阻下降，電導上升，電導變化與氣體濃度成比倒。NiO為p型半導體，氧化性氣體使電導下降，對O2敏感。ZnO半導體傳感器也屬于此種類型。
a. 電導型的傳感器元件分為表面敏感型和容積控制型，表面敏感型傳感材料為SnO2+Pd、ZnO十Pt、AgO、V 205、金屬酞青、Pt—SnO2。 表面敏感型氣體傳感器可檢測氣體為各種可燃性氣體C0、NO2、 氟利昂。傳感材料Pt—SnO2的氣體傳感器可檢測氣體為可燃性氣體CO、H2、CH4。
b. 容積控制型傳感材料為Fe2O8、la1-SSrxCOO8和TiO2、CoO-MgO—SnO2體傳感器可檢測氣體為各種可燃性氣體CO、NO2氟利昂。。傳感材料Pt—SnO2
容積控制型半導體氣體傳感器可檢測氣體為液化石油氣、酒精、空燃比控制、燃燒爐氣尾氣。
（2） 容積控制型的是晶格缺陷變化導致電導率變化，電導變化與氣體濃度成比例關系。
Fe2O8、TiO2屬于此種，對可燃性氣體敏感。
（3） 熱線性傳感器，是利用熱導率變化的半導體傳感器，又稱熱線性半導體傳感器，是在Pt絲線圈上涂敷SnO2層，Pt絲除起加熱作用外，還有檢測溫度變化的功能。施加電壓半導體變熱，表面吸氧，使自由電子濃度下降，可燃性氣體存在時，由于燃燒耗掉氧自由電子濃度增大，導熱率隨自由電子濃度增加而增大，散熱率相應增高，使Pt絲溫度下降，阻值減小，P t絲阻值變化與氣體濃度為線性關系。
這種傳感器體積小、穩定、抗毒，可檢測低濃度氣體，在可燃氣體檢測中有重要作用。
（ 4） 非電導型的FET場效應晶體管氣體傳感器，Pd—FET．場效應晶體管傳感器，利用Pd吸收H z并擴散達到半導體Si和Pd的界面，減少Pd的功函，這種對H2、CO敏感。非電導型FET場效應晶體管氣體傳感器體積小，便于集成化，多功能，是具有發展前途的氣體傳感器。
二、固體電解質氣體傳感器
這種傳感器元件為離子對固體電解質隔膜傳導，稱為電化學池，分為陽離子傳導和陰離子傳導，是選擇性強的傳感器，研究較多達到實用化的是氧化鋯固體電解質傳感器，其機理是利用隔膜兩側兩個電池之間的電位差等于濃差電池的電勢。穩定的氧化鉻固體電解質傳感器已成功地應用于鋼水中氧的測定和發動機空燃比成分測量等。
為彌補固體電解質導電的不足，近幾年來在固態電解質上鍍一層氣敏膜，把圍周環境中存在的氣體分子數量和介質中可移動的粒子數量聯系起來。
三、接觸燃燒式氣體傳感器
接觸燃燒式傳感器適用于可燃性氣H2、CO、CH4的檢測。可燃氣體接觸表面催化劑Pt、Pd時燃燒、破熱，燃燒熱與氣體濃富有關。這類傳感器的應用面廣、體積小、結構簡單、穩定性好，缺點是選擇性差。
四、電化學氣體傳感器
電化學方式的氣體傳感器常用的有兩種
（ 1 ）恒電位電解式傳感器
是將被測氣體在特定電場下電離，由流經的電解電流測出氣體濃度，這種傳感器靈敏度高，改變電位可選擇的檢洌氣體，對毒性氣體檢測有重要作用。
（ 2） 原電池式氣體傳感器
在KOH電解質溶液中，Pt—Pb或Ag—Pb電極構成電池，已成功用于檢測O2，其靈敏度高，缺點是透水逸散吸潮，電極易中毒。
五、光學氣體傳感器
（ 1 ）直接吸收式氣體傳感器
紅外線氣體傳感器是典型的吸收式光學氣體傳感器，是根據氣體分別具有各自固有的光譜吸收譜檢測氣體成分，非分散紅外吸收光譜對SO2、CO、CO2、NO等氣體具有較高的靈敏度。
另外紫外吸收、非分散紫外線吸收、相關分光、二次導數、自調制光吸收法對NO、NO2、SO2、烴類（CH4） 等氣體具有較高的靈敏度。
（ 2）光反應氣體傳感器
光反應氣體傳感器是利用氣體反應產生色變引起光強度吸收等光學特性改變，傳感元件是理想的，但是氣體光感變化受到限制，傳感器的自由度小。
（ 3 ）氣體光學特性的新傳感器
光導纖維溫度傳感器為這種類型，在光纖頂端涂敷觸媒與氣體反應、發熱。溫度改變，導致光纖溫度改變。利用光纖測溫已達到實用化程度，檢測氣體也是成功的。
此外，利用其它物理量變化測量氣體成分的傳感器在不斷開發，如聲表面波傳感器檢測SO2、NO2、H2S、NH3、H2等氣體也有較高的靈敏度。
選用技巧
有害氣體檢測的氣體傳感器的一大作用，有害氣體的檢測有兩個目的，第一是測爆，第二是測毒。所謂測爆是檢測危險場所可燃氣含量，超標報警，以避免爆炸事故的發生;測毒是檢測危險場所有毒氣體含量，超標報警，以避免工作人員中毒。
有害氣體有三種情況第一、無毒或低毒可燃，第二、不燃有毒，第三、可燃有毒。針對這三種不同的情況，一般我們選擇傳感器需要選擇不同的氣體傳感器。例如測爆選擇可燃氣體檢測報警儀，測毒選擇有毒氣體檢測報警儀等。其次我們需要選擇氣體傳感器的類型，一般有固定式和便攜式。生產或貯存崗位長期運行的泄漏檢測選用固定式氣體傳感器;其他象檢修檢測、應急檢測、進入檢測和巡回檢測等選用便攜式氣體傳感器。
氣體傳感器類型有成百上千種，針對不同的氣體傳感器可能有不同的選用技巧，客戶在選擇氣體傳感器的時候如果自己不是很清楚可以咨詢傳感器廠家的技術人員，讓他們為你選擇合適的氣體傳感器，或者請傳感器技術人員上面勘察以便更好的選擇氣體傳感器。返回搜狐，查看更多
責任編輯：
氣體傳感器的分類如下：
一、半導氣體傳感器
這種類型的傳感器在氣體傳感器中約占60%，根據機理分為電導型和非電導型，電導型中又分為表面型和容積控制型。
二、固體電解質氣體傳感器
這種傳感器元件為離子對固體電解質隔膜傳導，稱為電化學池，分為陽離子傳導和陰離子傳導，是選擇性強的傳感器，研究較多達到實用化的是氧化鋯固體電解質傳感器，其機理是利用隔膜兩側兩個電池之間的電位差等于濃差電池的電勢。穩定的氧化鉻固體電解質傳感器已成功地應用于鋼水中氧的測定和發動機空燃比成分測量等。
為彌補固體電解質導電的不足，近幾年來在固態電解質上鍍一層氣敏膜，把圍周環境中存在的氣體分子數量和介質中可移動的粒子數量聯系起來。
三、接觸燃燒式氣體傳感器
接觸燃燒式傳感器適用于可燃性氣H2、CO、CH4的檢測。
四、電化學氣體傳感器
電化學方式的氣體傳感器常用的有兩種：
1、恒電位電解式傳感器
是將被測氣體在特定電場下電離，由流經的電解電流測出氣體濃度，這種傳感器靈敏度高，改變電位可選擇的檢洌氣體，對毒性氣體檢測有重要作用。
2、原電池式氣體傳感器
在KOH電解質溶液中，Pt—Pb或Ag—Pb電極構成電池，已成功用于檢測O2，其靈敏度高，缺點是透水逸散吸潮，電極易中毒。
五、光學氣體傳感器
1、直接吸收式氣體傳感器
紅外線氣體傳感器是典型的吸收式光學氣體傳感器，是根據氣體分別具有各自固有的光譜吸收譜檢測氣體成分，非分散紅外吸收光譜對SO2、CO、CO2、NO等氣體具有較高的靈敏度。
2、光反應氣體傳感器
光反應氣體傳感器是利用氣體反應產生色變引起光強度吸收等光學特性改變，傳感元件是理想的，但是氣體光感變化受到限制，傳感器的自由度小。
3、氣體光學特性的新傳感器
光導纖維溫度傳感器為這種類型，在光纖頂端涂敷觸媒與氣體反應、發熱。溫度改變，導致光纖溫度改變。利用光纖測溫已達到實用化程度，檢測氣體也是成功的。
梅特勒-托利多InPro 6800G/12/220/Ka可精確測量濃度介于0.1％至100％的氧氣濃度，為滿足特定應用的要求，InPro 6800G/12/220/Ka的長度為220 mm，適用于中長長度安裝。它采用了Kalrez?O形圈和316L不銹鋼液接部分，應用范圍廣泛。
一，半導氣體傳感器
這種類型的傳感器在氣體傳感器中約占60%，根據其機理分為電導型和非電導型，電導型中又分為表面型和容積控制型.
(1 ) SnO2半導體是典型的表面型氣敏元件，其傳感原理是SnO2為n 型半導體材料。當施加電壓時，半導體材科溫度升高，被吸附的氧接受了半導體中的電子形成了O2或O2原性氣體H2、CO、CH4存在時，使半導體表面電阻下降，電導上升，電導變化與氣體濃度成比倒。NiO為p型半導體，氧化性氣體使電導下降，對O2敏感。ZnO半導體傳感器也屬于此種類型。
半導體氣體傳感器
a. 電導型的傳感器元件分為表面敏感型和容積控制型，表面敏感型傳感材料為SnO2+Pd 、ZnO十Pt 、AgO、V 205 、金屬酞青、Pt —SnO2。 表面敏感型氣體傳感器可檢測氣體為各種可燃性氣體C0、NO2、 氟利昂。傳感材料Pt —SnO2 的氣體傳感器可檢測氣體為可燃性氣體CO、H2、CH4 。
b. 容積控制型傳感材料為Fe2O8、la1-SSrxCOO8 和TiO2、CoO-MgO —SnO2體傳感器可檢測氣體為各種可燃性氣體CO、NO2 氟利昂。。傳感材料Pt —SnO2
容積控制型半導體氣體傳感器可檢測氣體為液化石油氣、酒精、空燃比控制、燃燒爐氣尾氣。
( 2) 容積控制型的是晶格缺陷變化導致電導率變化，電導變化與氣體濃度成比例關系。
Fe2O8、TiO2屬于此種，對可燃性氣體敏感。
(3) 熱線性傳感器，是利用熱導率變化的半導體傳感器，又稱熱線性半導體傳感器，是在Pt 絲線圈上涂敷SnO2層，Pt絲除起加熱作用外，還有檢測溫度變化的功能。施加電壓半導體變熱，表面吸氧，使自由電子濃度下降，可燃性氣體存在時，由于燃燒耗掉氧自由電子濃度增大，導熱率隨自由電子濃度增加而增大，散熱率相應增高，使Pt 絲溫度下降，阻值減小，P t絲阻值變化與氣體濃度為線性關系。
這種傳感器體積小、穩定、抗毒，可檢測低濃度氣體，在可燃氣體檢測中有重要作用。
( 4) 非電導型的FET場效應晶體管氣體傳感器，Pd —FET．場效應晶體管傳感器，利用Pd 吸收H z 并擴散達到半導體Si 和Pd的界面，減少Pd 的功函，這種對H2、CO敏感。非電導型FET場效應晶體管氣體傳感器體積小，便于集成化，多功能，是具有發展前途的氣體傳感器。
二，固體電解質氣體傳感器
這種傳感器元件為離子對固體電解質隔膜傳導，稱為電化學池，分為陽離子傳導和陰離子傳導，是選擇性強的傳感器，研究較多達到實用化的是氧化鋯固體電解質傳感器，其機理是利用隔膜兩側兩個電池之間的電位差等于濃差電池的電勢。穩定的氧化鉻固體電解質傳感器已成功地應用于鋼水中氧的測定和發動機空燃比成分測量等。
為彌補固體電解質導電的不足，近幾年來在固態電解質上鍍一層氣敏膜，把圍周環境中存在的氣體分子數量和介質中可移動的粒子數量聯系起來。
三，接觸燃燒式氣體傳感器
接觸燃燒式傳感器適用于可燃性氣H2、CO、CH4的檢測。可燃氣體接觸表面催化劑
Pt 、Pd 時燃燒、破熱，燃燒熱與氣體濃富有關。這類傳感器的應用面廣、體積小、結構簡單、穩定性好，缺點是選擇性差。
四，電化學氣體傳感器
電化學方式的氣體傳感器常用的有兩種
( 1 )恒電位電解式傳感器
是將被測氣體在特定電場下電離，由流經的電解電流測出氣體濃度，這種傳感器靈敏度高，改變電位可選擇的檢洌氣體，對毒性氣體檢測有重要作用。
( 2) 原電池式氣體傳感器
在KOH電解質溶液中，Pt —Pb或Ag —Pb 電極構成電池，已成功用于檢測O2，其靈敏度高，缺點是透水逸散吸潮，電極易中毒。
五，光學氣體傳感器
( 1 )直接吸收式氣體傳感器
紅外線氣體傳感器是典型的吸收式光學氣體傳感器，是根據氣體分別具有各自固有的光譜吸收譜檢測氣體成分，非分散紅外吸收光譜對SO2、CO、CO2、NO等氣體具有較高的靈敏度。
另外紫外吸收、非分散紫外線吸收、相關分光、二次導數、自調制光吸收法對NO、NO2、SO2、烴類( CH4) 等氣體具有較高的靈敏度。
( 2)光反應氣體傳感器
光反應氣體傳感器是利用氣體反應產生色變引起光強度吸收等光學特性改變，傳感元件是理想的，但是氣體光感變化受到限制，傳感器的自由度小。
( 3 )氣體光學特性的新傳感器
光導纖維溫度傳感器為這種類型，在光纖頂端涂敷觸媒與氣體反應、發熱。溫度改變，導致光纖溫度改變。利用光纖測溫已達到實用化程度，檢測氣體也是成功的。
此外，利用其它物理量變化測量氣體成分的傳感器在不斷開發，如聲表面波傳感器檢測SO2、NO2、H2S、NH3、H2 等氣體也有較高的靈敏度。
1
、半導體式氣體傳感器
它是利用一些金屬氧化物半導體材料，在一定溫度下，電導率隨著
環境氣體成份的變化而變化的原理制造的。比如，酒精傳感器，就
是利用二氧化錫在高溫下遇到酒精氣體時，電阻會急劇減小的原理
制備的。
半導體式氣體傳感器可以有效地用于：甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、
酒精、
甲醛、
一氧化碳、
二氧化碳、
乙烯、
乙炔、
氯乙烯、
苯乙烯、
丙烯酸等很多氣體地檢測。尤其是，這種傳感器成本低廉，適宜于
民用氣體檢測的需求。
下列幾種半導體式氣體傳感器是成功的：甲烷（天然氣、沼氣）、
酒精、一氧化碳（城市煤氣）、硫化氫、氨氣（包括胺類，肼類）。
高質量的傳感器可以滿足工業檢測的需要。
缺點：穩定性較差，受環境影響較大；尤其，每一種傳感器的選擇
性都不是唯一的，輸出參數也不能確定。因此，不宜應用于計量準
確要求的場所。
目前這種傳感器的主要供應商在日本（發明者），其次是中國，最
近有新加入了韓國，其他國家如美國在這方面也有相當的工作，但
是始終沒有匯入主流！中國在這個領域投入的人力和時間都不亞于
日本，但是由于多年來國家政策導向以及社會信息閉塞等原因，我
國流行于市場的半導體式氣體傳感器性能質量都遠遜于日本產品，
相信，隨著市場進步，民營資本的進一步興起，中國產的半導體式
氣體傳感器
達到和超越日本水平已經指日可待
2
、催化燃燒式氣體傳感器
這種傳感器是在白金電阻的表面制備耐高溫的催化劑層，在一定的
溫度下，
可燃性氣體在其表面催化燃燒，
燃燒是白金電阻溫度升高，
電阻變化，變化值是可燃性氣體濃度的函數。
催化燃燒式氣體傳感器選擇性地檢測可燃性氣體：
凡是可以燃燒的，
都能夠檢測；凡是不能燃燒的，傳感器都沒有任何響應。當然，凡
是可以燃燒的，都能夠檢測這一句有很多例外，但是，總的來講，
上述選擇性是成立的。
催化燃燒式氣體傳感器計量準確，響應快速，壽命較長。傳感器的
輸出與環境的爆炸危險直接相關，在安全檢測領域是一類主導地位
的傳感器。
缺點：在可燃性氣體范圍內，無選擇性。暗火工作，有引燃爆炸的
危險。大部分元素有機蒸汽對傳感器都有中毒作用。
目前這種傳感器的主要供應商在中國、日本、英國（發明國）！目
前中國是這種傳感器的最大用戶（煤礦），也擁有最佳的傳感器生
產技術，盡管不斷有各種各樣的代理商在宣傳上干擾社會對這種傳
感器的認識，但是畢竟，催化燃燒式氣體傳感器的主流制造商在國
內。
3
、熱導池式氣體傳感器
每一種氣體，都有自己特定的熱導率，當兩個和多個氣體的熱導率
差別較大時，可以利用熱導元件，分辨其中一個組分的含量。這種
傳感器已經傳感器地用于氫氣的檢測、二氧化碳的檢測、高濃度甲
烷的檢測。
這種氣體傳感器可應用范圍較窄，限制因素較多。
這是一種老式產品，全世界各地都有制造商。產品質量全世界大同
小異。
4
、電化學式氣體傳感器
它相當一部分的可燃性的、有毒有害氣體都有電化學活性，可以被
電化學氧化或者還原。利用這些反應，可以分辨氣體成份、檢測氣
體濃度。電化學
氣體傳感器
分很多子類：
（
1
）、原電池型氣體傳感器（也稱：加伏尼電池型氣體傳感器，也
有稱燃料電池型氣體傳感器，也有稱自發電池型氣體傳感器），他
們的原理行同我們用的干電池，只是，電池的碳錳電極被氣體電極
替代了。以氧氣傳感器為例，氧在陰極被還原，電子通過電流表流
到陽極，
在那里鉛金屬被氧化。
電流的大小與氧氣的濃度直接相關。
這種傳感器可以有效地檢測氧氣、二氧化硫、氯氣等。
（
2
）
、
恒定電位電解池型氣體傳感器，這種傳感器用于檢測還原性
氣體非常有效，它的原理與原電池型傳感器不一樣，它的電化學反
應是在電流強制下發生的，是一種真正的庫侖分析的傳感器。這種
傳感器已經成功地用于：一氧化碳、硫化氫、氫氣、氨氣、肼、等
氣體的檢測之中，是目前有毒有害氣體檢測的主流傳感器。
1、半導體式氣體傳感器
2、催化燃燒式氣體傳感器
3、熱導池式氣體傳感器
4、電化學式氣體傳感器
一氧化碳是一種無色無味、易燃易爆的有毒氣體，是碳基燃料燃燒后不完整后的主要產物。我們可以用一氧化碳所占燃燒氣體的比例來表示燃燒的效率。即便國家對汽車尾氣排放的審核標準一再提高，但是隨著人們與日俱增的對物質需求的提升和人均用車量導致CO等溫室的氣體污染不斷加重。在原礦進行提煉時，整個能量轉化過程比較容易釋放煤氣。因為在現代化的生活與工業生產中，煤氣屬于中關鍵性能源，伴隨社會發展與進步，煤氣使用、生產以及運輸規模不斷變大，而煤氣中一氧化碳的含量比較多。并且其中一氧化碳占比將近0.97，基本等同于空氣含量，所以擴散難度比較大，經常會聚集在某個區域。如果一個區域中一氧化碳的含量達到特定濃度，極易引起爆炸的事故。同時一氧化碳是無味無色的氣體，比較難察覺，這種氣體是有毒的氣體，所以經常會見到一氧化碳的中毒事件。一氧化碳這種劇毒性的氣體，最主要的危害有兩點：一是會污染大氣環境，二是會一氧化碳會使得人體內細胞缺氧而導致人機體細胞死亡。如果人體血液的循環系統中進入了一氧化碳，這種氣體就會結合血紅蛋白，生產碳氧的血紅蛋白，這種血紅蛋白比較難解離，導致人的組織細胞缺氧甚至死亡。二氧化碳是一種完全燃燒的產物，通常用于定量攝入EGR水平;它也是一種重要的溫室氣體，與CO一起，是一種燃燒完成度和總排碳量的測量方法。因此，如何在生活以及工作環境對一氧化碳和二氧化碳進行準確檢測，對于今后生態環境保護至關重要。在國內環境污染不斷加重以及檢測技術不夠先進的背景下，各種檢測設備老化，因為這些諸多問題，需要將環境的監測領域投資加大，繼而推動光纖氣體的監測技術發展。就目前而言，國內大氣質量的周報中，五大主要污染源就是臭氧、PM10、二氧化氮、二氧化硫以及一氧化碳，這些氣體監測儀主要源自國外，并且這些儀器主要采取光化學方式監測，就監測技術發展的態勢來看，最新一代的監測技術是光譜學與光學技術，這兩種技術即為差分吸收的光譜技術。[i]
1.1 氣體傳感技術的現狀和發展趨勢
伴隨全球工業化的革命發展，生產力提升和日新月異科技的發展卻導致環境污染變得越來越嚴重，環境保護已成為了全世界不得不一起共同面對的巨大挑戰。各國政府都設置環境保護的組織，旨在經科學手段檢測污染源，合理的運用新型的傳感測量技術是針對環境污染最有效監控途徑。近幾年來，世界各國對環境保護投資比較大，通過大量物力以及人力對新型傳感的器件進行開發，用來對未知的污染源進行識別，同時對已知的污染源變化進行監測。有學者預測，環境保護傳感器的市場會逐漸擴大，直至在未來環境保護方面市場份額達到舉足輕重的地位。僅僅在我國2016年對傳感器需求就達到了30億只，換算市值可達到1200億元。光纖傳感技術是一種七十年代后期才逐漸開始發展起來的新技術。但是我國中高檔傳感器幾乎均靠國外進口，國內缺乏對新型光纖傳感技術為原理的新型傳感器研發和產品化。而由于光纖傳感器有極高的靈敏度和精度、輕細柔軟便于安裝、良好的化學穩定性和安全抗干擾性的特性，能補足傳統傳感器的種種局限，因此我們可以斷言光纖傳感器將會在未來環境監控上起到重大的作用和影響。
氣體檢測傳感器的發展趨勢是：
1.由勞動密集型向技術密集型方向發展。
2.氣體檢測現在主要經大型工業的實驗室以及人工采樣方式來處理，今后應該轉向智能化、機械化以及自動化的方向。
3.由物理理論領域監測向全方位信息領域監測的方向發展。
4．向新材料新工藝傳感器發展。
5.向物理、電子、光學等多方面高新領域發展。
6.由單功能向多功能傳感器發展。
1.3 本論文內容和結構框架
本論文第一章對氣體傳感器應用前景與當前進展進行簡要分析，對氣體傳感器發展趨勢進行總結，以便給氣體傳感器研究提供參考。
第二章對光纖氣體的傳感器分類與發展進行介紹，同時分析LED燈在今后氣體傳感器的發展中所產生的影響。
第三章介紹了了氣體傳感器的特性概述，首先簡單介紹了氣體分子光譜理論，然后粗略的介紹了光譜吸收定律和氣體分子的吸收線，最后描述了一下氣體傳感器耦合問題。
第四章主要介紹了在光纖氣體傳感系統當中，因為存在很多影響測試結果的不利因
素，而我們可以通過差分吸收檢測方法和波長調制諧波檢測方法來保證實驗的準確性，本
章簡單的介紹了一下差分吸收法和諧波檢測的數學理論基礎和給出了模型支持簡單的了
解了兩種方法的工作原理。還以此建立了傳感器的理論模型。
第五章主要研究了一種簡單的檢測co2和co的基于LED光譜吸收的氣體傳感器，同時分析了其工作原理和工作模擬圖，通過比對不同氣體的吸收譜來選擇相應的波長闡述了具體的設計理念展示了相關數據。
第六章總結了本論文所完成的研究工作，討論了論文本身存在的不足之處。展望了未來光纖傳感器的發展和進步。
2 光纖氣體傳感器概論
2.1 光纖氣體傳感器的發展
由于氣體光譜的吸收氣體測量的技術，主要優勢就是鑒別氣體濃度以及測量的靈敏度比較高，所以在控制工業的氣體監測以及環境監測中有著重要作用。通常傳統吸收光譜的分析方法只可以對野外實地的采集樣本進行監測，再經實驗室的儀器實施精確光譜的分析。另外，傳統吸收光譜工作的時間比較長，儀器的精密性要求，所以對工作環境有著一定要求，所以導致實際應用受限，特別在工業氣體與環境監測控制的過程中，傳統分析方法無法與在線連續性的精準監測要求相符。而光纖傳的感技術在70年代的末期才逐漸出現在大家視野的一門高新技術。把石英光纖當作例子，于1.55波長附近，光纖的損耗能夠降低到每公里 0.2d B。換句話說，光纖氣體傳感器可以克服以往舊的傳感器無法對惡劣環境的情況（例如高溫環境、易爆高危高毒環境或高頻高磁場環境），工作人員可以通過相應的軟件程序進行遠距離操控。與傳統的電傳感器相比，光纖傳感器所需要的匹配功率較低，操作人員的安全得到大大提升。另外，光纖由于具有耐腐蝕的特性，可在高核輻射這種危險環境中進行作業。由于光纖有交寬頻帶，可以攜帶海量信息，經分波長、分時與分頻等多路服用的技術，可實現不同傳感器共用傳輸的光纖，一個探測器或是一個光源，一根光纖，就可以測量不同的化學參量，或用于多點或分布式測量，這樣可以大大降低整個系統的成本。[ii]
光纖傳感器主要優勢是結構比較簡單、靈敏度比較高、體積較小以及耐腐蝕等，也就因為這些優勢逐漸受到廣大科研人員的喜愛。在無數的智慧火花碰撞后衍生出了許多結合其他的高新領域和光纖的傳感技術的新技術，也就是氣體傳感的技術。到目前為止，光纖的傳感器在濃度、位移、加速度以及振動等物理量測量中有廣泛應用，其市場前景與潛力比較大[iii]。
2.2 光纖氣體傳感器的分類
光纖傳感器主要在氣體物理與化學性質、光學現象等測量中，下面我們將簡單的介紹幾種主流的光纖傳感器：
2.2.1光譜吸收型熒光型
我們可以通過測量與之相對應熒的光輻射對氣體濃度進行檢測，熒光不僅可以由被物質的被測物質自身變化而來，而且可以由熒光染料和被測物化學反應而來。圖2-1呈現的是熒光物質經吸收特定的波長所得光照，當電子將能量吸收以后，就會轉變成受激的狀態，由低能態轉變成高能態；電子受光輻射的刺激以后，會出現熒光，并且此時熒光波長比應激波長大。通常在受激的狀態下，電子不會長時間停留，其壽命普遍在1-20ns之間。
圖2-1熒光產生機理
如果測量濃度將某種特定光照射吸收以后，不僅可以對熒光輻射強度進行改變，而且能引起壽命的變化。所以按照各種測量的方式以及傳感的機理，可以劃分成兩種，其一是對熒光輻射的壽命進行測量；其二是對熒光輻射的強度進行測量[iv]。相較于吸收型的光纖傳感器，熒光型的傳感器中傳感熒光波長與激勵光波長不一樣，因為各種熒光材料中熒光輻射的波長不一樣，所以熒光傳感器在鑒別被測量物方面，準確性比較高[v]。就實際應用而言，人們經常希望激勵波長和輻射波長可以有較遠的距離，以便經價格低廉波長的濾波器劃分傳感光和激勵光。都要去激勵波長處于近紅外區或是見光區，關于這段波的研究技術相對成熟，價格方面人們也比較容易接受。熒光傳感的原理主要就是對某固定的波長段熒光的強度進行測量，經過這個原理，能夠制作出熒光pH的傳感器，即通過實驗不斷改變濃度ph值的大小，使得熒光輻射的強度也不斷改變。熒光壽命的測量方法較為復雜，這里我們就暫且不去討論。熒光型傳感器具有極高的物質鑒別能力但其缺點就是其檢測信號極其微弱不易測量且設計檢測系統極其復雜，不利于實現工業化和商品化。
2.2.2基于折射率變化的傳感器
就折射率的變化也就是光程變化光纖傳感器而言，主要是將特殊材料涂敷在光纖端面或是表面，該材料折射率與體積在氣體上有較強的敏感性。例如：雜聚硅氧烷( HPS)材料能夠經溶膠凝膠(Sol-Gel)方式，將其涂抹于光纖的表面，并且設計涂層的折射率類似石英光纖的折射率。該材料與某種化學量發生作用后，會改變了折射率，這各類型HPS能夠對不同化學量進行測量。例如：glycidoxyl propyl siloxane折射率在碳氫化合物反應后，對于甲苯會有敏感性。并且折射率發生變化，會使得波導參數發生變化，例如：雙折射率、損耗與有效的折射率等，上述參數能夠采取千涉或是強度檢測方式進行測量。膜與氫氣相遇，就會出現膨脹，四氟乙烯、高分子膜與己烷、酒精燈相遇，同樣會膨脹。這些材料會在光纖的端部沉積，構成Fabry-Perot的干涉儀，而氣體所致薄膜膨脹可已經測量干涉儀的光強度輸出獲得。[vi]
2.2.3基于染料染色劑的傳感器
在石英的吸光譜上，部分氣體吸收波不夠明顯，即便存在吸收波，但是因為各種因素導致相應波長的光源并不存在與現實生活中，基于這種情況應運而生的便是將染料指示劑當作中間產物，完成間接的傳感。一旦燃料和氣體產生化學的反應，本身光學的性質同樣會變化，經過對其中變化進行測量，可以獲取被測氣體信息[vii]。ph值的傳感器屬于較常見的一種，染料的指示劑，例如：石蕊試紙顏色會伴隨ph大小改變而發生變化。因此我們可以通過測量所對應的溶液ph值來測量部分氣體的濃度（如NH3.CO2等）。
2.2.4 光纖漸逝場氣體傳感器
光纖漸逝場氣體傳感器在現實生活是一類已經得到實現且具有廣大潛力前景的一類傳感器。企業已經能商業化出產著在波長3.39um處利用漸逝場原理的光纖傳感器。但是另一方面因為該類傳感器在該波長段處的光纖傳輸損耗極高運用效率極低，導致該類別傳感器的光路往往不能夠超過3米及以上標準。此類傳感器檢測的氣體濃度同時也將限制于百分之二量級上。漸逝場的傳感器并且容易發生表面污染的問題，即便經高分子的隔離膜能夠防止大型的污染物進入到漸逝場的區域，和氣體分子的體積接近的分子卻難以阻擋，這些污染物將會改變光纖表面的波導結構，從而改變其測量出的參數導致影響傳感器的靈敏度。如何降低表面污染對漸勢場型傳感器的影響是未來科研人員仍需要攻克的主要技術性難關。
漸勢場型光纖氣體傳感原理圖
2.2.5 吸收式光纖氣體傳感器
在這些傳感器之中，光纖作用就是當作傳輸的介質，只可以對光能量進行傳輸，所傳輸光能量能夠和待測氣體的樣本互相作用，產生各類信息，以便在某些區域檢測待測氣體的樣本[viii]。依據現有的情況數據分析，吸收式光纖氣體傳感器是在現有的科學技術手段支持下由理論走向造福社會的一類新型的傳感器。
吸收型的傳感器主要是經氣體測量石英光纖透射窗口(0.8-1.7um)吸收峰。通過氣體吸收產生的光強衰減程度來通過一定的數學公式運算對氣體濃度進行測定，主要是按照Lambert-Beer的定律計算。常見氣體(如CO2, C2H2, CH4, N02, C0)在紅外光譜范圍內都存在較強的吸收譜線，該紅外光譜波段對應接收器與氣體的發光器均是相對理想光電轉換的器件。經該方式能夠準確測量大部分氣體的濃度，不僅能保證產品質量安全，而且具有靈敏度高、高抗電磁干擾功能、響應速度比傳統傳感器快、成本價格低廉、運用對象廣泛、具有良好的兼容性特別是傳感頭不帶電、本質防爆的特點，在高危工業的檢測中應用前景較好，此次所用傳感器就是吸收型傳感器
圖3吸收型光纖氣體傳感的原理圖
2.3 LED在傳感器起到的功效
在光纖的系統中，主要是采取光纖和發光二極管最佳耦合高亮度，并且傳感器中明確要求部件達到最大利用率和安全保障率的同時，確保發射波長和光纖吸收的頻率創口一樣。LED的器件公共特性都一樣，光/電流的曲線特性如圖2-3所示。如果范圍比較寬，也就是40dB左右，在一定的范圍區間內光輸出就會伴隨正向偏置電流變化方向，與線性圖比較接近，然而，伴隨器件的溫度變化，會增加使用期，曲線也會越來月平穩。這種變化會影響到傳感器的系統，繼而使得測量數據間存在極大偏差。因此需要及時經熱反饋方式，對這些變化進行了解，本文經發射系統或是溫度的敏感電源中光電二極管進行監測。
圖2-3發光二極管的光/電流曲線
面發光二極管與光纖的藕合從結果上分析這是個低效率過程。為什么這么說呢？這是因為LED面發光管所產生的光功率會散漫的分布在一個極大的立體角內，能夠進入光纖部分的輸出光功率甚至不足百分之十，所以結合單模的光纖系統和發光二極管使用，沒有現實的意義。
邊發光放入二極管主要是經雙異質的結構發生輻射，引起局部內波導的效應，可以構成穩定定向紅外的光束，能夠對發射光方向性進行保證，將光束限制于垂直方向的30°范圍中，限制在水平方向的120°內。所以對比了面發光二極管以及邊發光二極管得出，邊發光二級光光耦合的效率比較高，而就接收小立體角類光纖而言，光耦合的效率就是一個重要部分。
圖2.3.1
從圖2.3.1中我們可以看出只有在某一波段的光才具有在光纖中低損耗傳輸的能力。
2.4 本章小結
本章主要介紹了氣體傳感器的發展歷程，之后又介紹了幾種不同工作類型的光纖型傳感器；為后面介紹該論文闡述的氣體傳感器系統原理做了鋪墊；接著介紹了光纖在LED中起到的作用和功效，展現了吸收型光纖傳感器在未來的前景。
3.吸收型氣體傳感器特性分析
3.1引言
就氣體分子吸收光譜的理論而言，經氣體分子吸收作用以及特定波長光原理，能夠對氣體濃度進行檢測，因為氣體分子中存在吸收光譜，如果穿過待測的氣體，并且氣體濃度不高，該氣體就會吸收特定波長的能量，滿足Lambert －Beer定律。氣體分子的吸收光譜理論和Lambert －Beer定律，建立吸收型傳感器的支持理論框架。然而，因為氣體分子光譜線寬極比較窄，其譜寬主要是納米的量級，同時吸收的功勞不大，經測光照的強度增減，對氣體難度進行測量的難度比較大。因此，需要按照比爾朗伯吸收定律以及氣體分子的光譜理論，經諧波檢測與差分吸收方式，對各種因素的干擾進行克服，有效檢測出微弱光電的信號。
3.2 氣體分子光譜理論
當電磁輻射與氣體分子相互作用時，能引起分子狀態由低能態過渡到高能態，發生所
謂的能級躍遷，記錄不同氣體所需要的電磁輻射強度變化被氣體分子所吸收隨波長的變
化，所得到的光譜圖便是氣體分子吸收光譜
在光纖氣體傳感器傳感系統當中由于選擇的光源的波段主要是紅外光的波動，在紅外光譜區，分子振動和吸收等，都會在各能級間躍遷，能量躍遷能夠經量子力學的原理解釋，在能量的躍遷過程，氣體分子之中原子會不斷振動，并且分子振動過程，會發生自我的轉動。按照量子力學的原理可知，如果分子的能態改變，那么其都是按照特定規律進行變化，分子能級會呈現出規律化。若經低能量紅外光的輻射對分子進行照射，則分子能夠吸收相應于相鄰轉動能級之差的遠紅外輻射能量，由低能態躍遷到高能態，通常我們將這一現象稱為能級躍遷。
3.3 光譜吸收定律
當光源以平行光的形式通過待測氣 體時,如果光源的光譜覆蓋 1個或多個氣體的吸
收譜,那么部分光將被吸收，光通過氣體時將會發生強度衰減。未衰減的光將按原路徑繼
續傳播。根據朗伯比爾定律定律,出 射發光強度 I 與入射發光強度 I0 和氣體的體積分
數 之間的關系為
（3-3）
是氣體吸收系數,即氣體在頻率 v 處 的吸收線型; L 測量氣體作用在傳感器的長度單位為m; c 為氣體的濃 度，通過計算，上式可變形為：
（3-3.1）
通過上述公式我們可以知道，當氣體的吸收系數和作用長度已知，氣體的濃度可以通過投射光和入射光強來求出。
圖3.3吸收型傳感器原理
3.4氣體分子的吸收線
氣體分子吸收線寬與以下因素相關:
1.氣體分子自然的線寬;
2.通過氣體分子自由運動所引發多普勒的效應，繼而將分子的吸收光譜加寬;
3.分子自由碰撞的展寬。通常情況下，氣體分子自然線寬會因為激發態的分子自然壽命、躍遷時間受到影響，而寬度微小，通常可以忽略。
圖3-4氣體分子的典型吸收線
圖3-4中 表示波長的吸收系數；表示對應的吸收峰；表示帶阻尼的電偶極振子的衰減速率。由上圖可知影響氣體的吸收線寬的因素不僅包括壓力因素還包括溫度因素。但只考慮到碰撞展寬時，溫度因素對大局無影響可忽略。因此我們可以從上圖中得出結論：當外界壓力保持恒定時，待測氣體的譜線形狀和寬度可在理論認為其是保持穩定不變的。
3.5 光纖氣體傳感器耦合
3.5.1光源與探測器的耦合
理論上，光源發射光功率從多地匯入到傳輸的光纖，屬于光纖和光源耦合的問題。通常情況下，采取藕合效率對耦合程度進行表示，公式表示如下；
(3.5)
表示為耦合輸出功率，表示為光源總功率
3.5.2 氣室的耦合
在氣體傳感器中存在一個敏感元件為氣室。穩定的氣室能幫我們只需簡單的更換光源就可以完成對不同氣體的濃度檢測。氣室組成部分包含輸出與輸入兩組透鏡。光纖射出光經輸入透鏡變成平行光，經氣室耦合至輸出的透鏡，下面給出了三類氣室設計的模型圖。
圖3-5氣室設計圖
上面三組設計圖分別是(a)投射式氣室；（b）反射式氣室；（c）漸變折射式氣室。
3.6本章小結
本章主要介紹了氣體傳感器的特性概述，首先簡單介紹了氣體分子光譜理論，然后粗略的介紹了光譜吸收定律和氣體分子的吸收線，最后描述了一下氣體傳感器耦合問題為下一章節介紹總體設計做好鋪墊。
4. 系統總體設計
4.1引言
在光纖氣體傳感系統當中，總是會存在很多影響測試結果的不利因素，比如光源光功
率的波動、氣室對光路的干擾、PIN管的噪聲等等，我們可以通過利用差分吸收檢測方法
和波長調制諧波檢測方法來減弱不利因素對結果的影響來保證測試的準確性
4.2諧波檢測原理
當電路上施加了正弦波的電壓時，所通過的電流將會變成非正弦波形式，非正弦波電流在電網阻抗上將會產生壓降，使得電壓波形也變為非正弦波形式。非正弦波可分解為傅里葉級數，頻率與工頻相同的分量稱為基波，頻率大于基波的分量稱為諧波;如變頻器、電磁爐、電動機、整流器、電子用品等都會產生諧波。諧波檢測方法最開始提出來的時候是作為一種檢測微弱信號的方法。在電子光譜，聲光光譜以及Zeeman及Stark光譜的研究中均有涉及。諧波檢測的基本原理是把一個高頻調制過的信號(依賴于某頻率)，使其“檢索”待測的特征信號[ix]。之后在信號處理過程中，通過調制頻率或調制頻率的倍頻以此依據來作為參考信號，用鎖相放大器記錄下所有已得到的特征信息，這里得到的特征信息便是由調制信號產生的諧波信息。如果調制出來的諧波信號不滿足規律的數學關系比例就會導致出現極大的偏差。雖然存在一定的弊端，但是諧波檢測技術仍適用于上述各種光譜的微弱信號檢測。
圖4-2諧波檢測原理圖
在圖4-2 (a)中，發射器的波長被正弦信號的調制，輸出的光信號是含有一次和二次諧波的強度信號。如圖4-2（b）所示通過把發射器固定在光譜氣體吸收峰上，或者讓照射光掃過氣體的吸收譜，最后用鎖相放大器檢測二次諧波的最大值，就可測量氣體的濃度。
4.3差分吸收原理
由Lambert －Beer定律我們可知：
（式4-3）
在4-3式中，和分別是初始和入射光強; 是某波長下的單位濃度、單
位長度介質的吸收系數; 是米氏散射系數; 是瑞利散射系數；是表征氣
體密度波動造成的吸收和散射總的變化量;0是待測氣體與光相互作用的長度;c是
待測氣體的濃度。
如圖4-3所示寬帶光源LED的譜寬比氣體吸收線寬大的多，使用不
同中心波長的干涉光柵濾光片就可以提取需要的波長和。為測量氣體的吸收譜線
中心波長，為偏離吸收譜線某一氣體的波長的吸收谷，通過上圖結構我們可以依次
實現差分吸收法。
4.4系統理論設計
圖4-4為本文設計的光纖氣體傳感系統結構，光源LED與傳輸光纖藕合進入氣室，再由氣室由藕合器通過光纖到達法布里-珀羅干涉腔。頻率調節后進入光檢測器PIN由光信號轉化為電信號。經電壓調制方式，繼而調控布里-珀羅干涉腔長，繼而有效控制光波長。經由電腦模擬軟件處理后，就可以檢測出待測氣體的濃度。
圖4-4光纖傳感器系統
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氣敏傳感器
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本詞條由“科普中國”科學百科詞條編寫與應用工作項目
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。
氣敏傳感器是用來檢測氣體濃度和成分的傳感器，它對于環境保護和安全監督方面起著極重要的作用。氣敏傳感器是暴露在各種成分的氣體中使用的，由于檢測現場溫度、濕度的變化很大， 又存在大量粉塵和油霧等，所以其工作條件較惡劣，而且氣體對傳感元件的材料會產生化學反應物，附著在元件表面，往往會使其性能變差。所以對氣敏傳感器有下列要求：能夠檢測報警氣體的允許濃度和其他標準數值的氣體濃度，能長期穩定工作，重復性好，響應速度快，共存物質所產生的影響小等。
[1]
中文名
氣敏傳感器
外文名
gas sensor
目 的
檢測氣體濃度和成分
領 域
硬件
目錄
1
概述
2
工作原理
3
分類
4
應用
氣敏傳感器概述
編輯
語音
氣敏傳感器的應用主要有：一氧化碳氣體的檢測、瓦斯氣體的檢測、煤氣的檢測、氟利昂（R11、R12）的檢測、呼氣中乙醇的檢測、人體口腔口臭的檢測等等。它將氣體種類及其與濃度有關的信息轉換成電信號，根據這些電信號的強弱就可以獲得與待測氣體在環境中的存在情況有關的信息，從而可以進行檢測、監控、報警；還可以通過接口電路與計算機組成自動檢測、控制和報警系統。
[1]
氣敏傳感器工作原理
編輯
語音
聲波器件表面的波速和頻率會隨外界環境的變化而發生漂移。氣敏傳感器就是利用這種性能在壓電晶體表面涂覆一層選擇性吸附某氣體的氣敏薄膜，當該氣敏薄膜與待測氣體相互作用（化學作用或生物作用，或者是物理吸附），使得氣敏薄膜的膜層質量和導電率發生變化時，引起壓電晶體的聲表面波頻率發生漂移；氣體濃度不同，膜層質量和導電率變化程度亦不同，即引起聲表面波頻率的變化也不同。通過測量聲表面波頻率的變化就可以獲得準確的反應氣體濃度的變化值。
[1]
氣敏傳感器分類
編輯
語音
1970年，荷蘭科學家Bergveld研制出了對氫離子響應的離子敏感場效應晶體管，標志著離子敏半導體傳感器的誕生。半導體傳感器以其易于實現集成化，微型化、靈敏度高等諸多優點，一直引起世界各國科學家的重視和興趣。由于電子技術的飛速發展，以半導體傳感器為代表的各種固態傳感器相繼問世。這類傳感器主要是以半導體為敏感材料，在各種物理量的作用下引起半導體材料內載流子濃度或分布的變化，通過檢測這些物理特性的變化，即可反映被測參數值。它與各種結構型傳感器相比，具有如下特點：由于傳感器原理是基于物理變化的，因而沒有相對運動部件，可以做到結構簡單，微型化；靈敏度高，動態性能好，輸出為電量；采用半導體為敏感材料容易實現傳感器集成化，智能化；功耗低，安全可靠。同時，半導體傳感器也存在以下一些缺點：線性范圍窄，在精度要求高的場合應采用線性化補償電路；與所有半導體元件一樣，輸出特性易受溫度影響而漂移，所以應采用補償措施；性能參數離散性大。雖然存在上述問題，但半導體傳感器仍是傳感器發展的重要方向，尤其是大規模集成電路技術的不斷發展，半導體傳感器的技術也日臻完善。從所使用的材料來看，凡是使用半導體為材料的傳感器都屬于半導體式傳感器，如，霍爾元件、光敏、磁敏、二極管和三極管熱敏電阻、壓阻式傳感器、光電池、氣敏、濕敏、色敏和離子敏等傳感器。有些內容與其他傳感器互相交叉，已在其它章中介紹。本章主要介紹氣敏、濕敏、磁敏、色敏和離子敏半導體式傳感器。
[2]
氣敏傳感器應用
編輯
語音
氣敏傳感器的應用主要有：一氧化碳氣體的檢測、瓦斯氣體的檢測、煤氣的檢測、氟利昂勠11、R12蘺檢測、呼氣中乙醇的檢測、人體口腔口臭的檢測等等。它將氣體種類及其與濃度有關的信息轉換成電信號根據這些電信號的強弱就可以獲得與待測氣體在環境中的存在情況有關的信息從而可以進行檢測、監控、報警還可以通過接口電路與計算機組成自動檢測、控制和報警系統。 由于氣體種類繁多, 性質各不相同不可能用一種傳感器檢測所有類別的氣體因此能實現氣-電轉換的傳感器種類很多按構成氣敏傳感器材料可分為半導體和非半導體兩大類。實際使用最多的是半導體氣敏傳感器因此本文主要講述半導體氣敏元件的有關原理及應用。半導體氣敏傳感器是利用待測氣體與半導體表面接觸時，產生的電導率等物理性質變化來檢測氣體的。 按照半導體與氣體相互作用時產生的變化只限于半導體表面或深入到半導體內部，可分為表面控制型和體控制型，前者半導體表面吸附的氣體與半導體間發生電子接受，結果使半導體的電導率等物理性質發生變化，但內部化學組成不變，后者半導體與氣體的反應，使半導體內部組成發生變化而使電導率變化。 按照半導體變化的物理特性，又可分為電阻型和非電阻型，電阻型半導體氣敏元件是利用敏感材料接觸氣體時，其阻值變化來檢測氣體的成分或濃度廠半導體式氣敏元件則是根據氣體的吸附和反應，使其某些關系特性發生改變無對氣體進行直接或間接的檢測，如二極管伏安特性和場效應晶體管的閾值電壓變化來檢測被測氣體的。
[2]
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氣敏傳感器在電工電路中的控制關系
本期我們的主題是氣敏傳感器在電工電路中的控制關系。氣敏傳感器是一種將某種氣體的有無或濃度轉換為電信號的器件，可檢測出環境中某種氣體及其濃度，并轉換成相應的電信號，主要用于可燃或有毒氣體泄漏的報警電路中。圖3-26為氣敏傳感器在實際電路中的連接關系。精彩演示圖3-26 氣敏傳...
2020-03-112
閱讀91
參考資料
1.
祝詩平．傳感器與檢測技術：北京大學出版社，中國林業出版社，2006年：165
2.
Lang, M.A. (2001). DAN Nitrox Workshop Proceedings. Durham, NC: Divers alert Network. p. 197. Retrieved 2009-03-20.
氣敏傳感器分類
氣敏傳感器是將氣體成分和濃度轉換為電信號的傳感器。在現代社會的生產和生活中，會接觸到各種各樣的氣體，需要進行檢測和控制。如化工生產中氣體成分的檢測與控制，煤礦瓦斯濃度的檢測與報警，環境污染情況的監測，煤氣泄漏、火災報警、燃燒情況的檢測與控制等。
氣敏傳感器的種類較多，主要包括敏感氣體種類的氣敏傳感器、敏感氣體量的真空度氣敏傳感器，以及檢測氣體成分的氣體成分傳感器。前者主要有半導體氣敏傳感器和固體電解質氣敏傳感器，后者主要有高頻成分傳感器和光學成分傳感器。由于半導體氣敏傳感器具有靈敏度高、響應快、使用壽命長和成本低等優點，所以應用很廣。
半導體氣敏傳感器的工作原理
半導體氣敏傳感器是利用半導體氣敏元件同氣體接觸后，造成半導體性質的變化來檢測特定氣體的成分或者測量其濃度。
半導體氣敏傳感器大體上可以分為電阻式和非電阻式兩類。電阻式半導體氣敏傳感器是利用氣敏半導體材料，如氧化錫（SnQ2）、氧化錳（MnO2）等金屬氧化物制成敏感元件，當它們吸收了可然氣體的煙霧，如氫、一氧化碳、烷、醚、醉、苯以及天然氣等時，會發生還原反應，放出熱量，使元件溫度相應增高，電阻發生變化。利用半導體材料的這種特性，將氣體的成分和濃度變換成電信號，進行監測和報警。
圖4.42所示為典型氣敏元件的阻值一濃度關系。可以看出，元件對不同氣體的敏感程度不同，如對乙醚、乙醉、氫氣等具有較高的靈敏度，而對甲烷的靈敏度較低。一般地，隨著氣體的濃度增加，元件阻值明顯增大，在一定范圍內，呈線性關系。
氣敏傳感器的材料
氣敏電阻的材料是金屬氧化物半導體（分P型如氧化錫和N型如氧化鈷），合成材料有時還滲入了催化劑， 如鈀（Pd）、鉑（Pt）、銀（Ag）等。
氣敏傳感器主要用于工業上天然氣、煤氣、石油化工等部門的易燃、易爆、有毒、有害氣體的監測、預報和自動控制， 氣敏元件是以化學物質的成分為檢測參數的化學敏感元件。
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